激光功率計(jì)是用來測試連續(xù)激光的功率或者脈沖激光在某一段時(shí)間的平均功率的儀器。常用到激光能量計(jì),用來探測重復(fù)脈沖激光的單發(fā)能量和單脈沖激光的能量。熱電堆型激光功率計(jì)通過熱電堆結(jié)構(gòu)將光能轉(zhuǎn)換成熱量,再轉(zhuǎn)換為電信號輸出,通過校準(zhǔn)來準(zhǔn)確測量激光功率的大小。激光功率計(jì)一般由探頭和顯示設(shè)備組成,激光功率計(jì)探頭按照不同的原理和材料分為熱電堆型、光電二極管型、以及包含兩種傳感器的綜合探頭,激光能量計(jì)則有熱釋電傳感器和熱電堆傳感器探頭。
激光功率計(jì)采用了量熱吸收測量原理, 其光譜響應(yīng)范圍0.19 ~ 11μm。既可以測量連續(xù)波激光輸出功率,也可以測量重復(fù)頻率脈沖激光輸出的平均功率。不僅具有好的線性、穩(wěn)定性和探測器表面均勻性,而且具有平坦的光譜響應(yīng)特點(diǎn)。方便了多方面用戶的測試需求。
初次使用功率計(jì),需要建立一個(gè)測量標(biāo)準(zhǔn),后續(xù)測量在此標(biāo)準(zhǔn)的基礎(chǔ)上進(jìn)行,保證測量的一致性。
通常功率計(jì)固定在一個(gè)水平工作臺上,測量時(shí),機(jī)器人移動(dòng)激光頭到測量點(diǎn),保證引導(dǎo)光與功率計(jì)受光面(圓面)基本對中,偏差在2mm范圍內(nèi)。
測量標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容包括:光斑與功率計(jì)受光面對中
(1)光斑與功率計(jì)受光面積占比
(2)激光頭吹氣模塊下端面與功率計(jì)上表面間距
(3)測量出光時(shí)間
(4)測量出光功率
(5)等參數(shù)。